磁浮集成式ZT臺采用創(chuàng)新性的雙軸耦合設計理念，具有非常緊湊扁平的輪廓尺寸，能實現(xiàn)垂向軸與旋轉軸2自由度的高精度、高剛度運動。
旋轉軸可無限制旋轉，垂向采用了獨特的大行程磁浮重力補償技術，降低了垂向電機的載荷，很大程度提高了垂向運動性能和壽命。
該磁浮集成式ZT臺也可集成在YG(隱冠)的XY臺之上，實現(xiàn)模塊化搭配組裝。
*接口尺寸數(shù)據(jù)來源于MZT90,且垂向處于中間位。
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MZT90-10 |
MZT90-20 |
MZT90-25 |
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軸 |
Z |
T |
Z |
T |
Z |
T |
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行程 |
10 mm |
360°,Infinite |
20 mm |
360°,Infinite |
25 mm |
360°,Infinite |
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最大速度 |
100 mm/s |
900°/s |
100 mm/s |
900°/s |
100 mm/s |
900°/s |
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加速度 |
2 m/s² |
6280°/s² |
2 m/s² |
6280°/s² |
2 m/s² |
6280°/s² |
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精度 |
±0.5μm/1mm |
±3 arcsec |
±0.5μm/1mm |
±3 arcsec |
±0.5μm/1mm |
±3 arcsec |
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雙向重復精度 |
±0.3μm/1mm |
±2 arcsec |
±0.3μm/1mm |
±2 arcsec |
±0.3μm/1mm |
±2 arcsec |
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位置穩(wěn)定性（3σ） |
±15 nm* |
±0.2 arcsec |
±15 nm* |
±0.2 arcsec |
±15 nm* |
±0.2 arcsec |
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直線度 |
2 μm |
NA |
2 μm |
NA |
2 μm |
NA |
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軸向跳動 |
NA |
±2 μm |
NA |
±2 μm |
NA |
±2 μm |
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徑向跳動 |
NA |
±2 μm |
NA |
±2 μm |
NA |
±2 μm |
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機械性能 |
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驅動負載（無負載） |
8.2 Kg |
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轉動慣量 |
0.00336 Kg•m² |
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最大負載 |
2 Kg（可定制） |
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平臺質(zhì)量 |
9.1 Kg |
12.3 Kg |
12.3 Kg |
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外觀尺寸 |
409mm×306.7mm×73.5mm （不帶負載） |
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平臺材料 |
航空鋁 |
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*測試數(shù)據(jù)來源于采用8μm pitch光柵尺的測試，且運動臺處于主動隔振環(huán)境下。
在MZT90 系列產(chǎn)品序列里，配置了可根據(jù)用戶實際應用選擇的可選項。可選內(nèi)容包括編碼器等選項。
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表1 編碼器選項 |
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-S1 |
標準款，Renishaw編碼器 |
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-S2 |
高端款，Heidenhain編碼器 |
