1、MFC質(zhì)量流量控制器簡介
MFC，即質(zhì)量流量控制器，是一種能夠精確測量和控制流體質(zhì)量流量的精密儀器，是確保工藝過程準(zhǔn)確性和產(chǎn)品一致性的關(guān)鍵功能單元。根據(jù) QYResearch 最新調(diào)研報(bào)告顯示，預(yù)計(jì) 2029 年全球半導(dǎo)體流量計(jì)市場規(guī)模將達(dá)到 5.3 億美元，未來幾年年復(fù)合增長率 CAGR 為 8.2%。就產(chǎn)品類型而言，目前氣體流量計(jì)是最主要的細(xì)分產(chǎn)品，占據(jù)大約 58%的份額。
MFC在半導(dǎo)體工藝的各個(gè)環(huán)節(jié)中都發(fā)揮著不可或缺的作用，例如，在過程工藝（刻蝕、鍍膜等）環(huán)節(jié)，用于對混合氣體的各組分流量、以及裝備真空度進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測或調(diào)節(jié)，確?；旌蠚怏w比例精確；在材料清洗環(huán)節(jié)，用于控制工藝過程中的氮?dú)饬髁浚_保清潔和干燥的效果；在超凈間等基礎(chǔ)設(shè)施中，用于對環(huán)境氣體潔凈度和風(fēng)速進(jìn)行長期穩(wěn)定控制。為保證半導(dǎo)體制造過程的穩(wěn)定性和產(chǎn)品的質(zhì)量，通常要求MFC產(chǎn)品具有高精度、高穩(wěn)定性、高可靠性、且能夠快速響應(yīng)。就產(chǎn)品應(yīng)用而言，目前沉積設(shè)備是最主要的需求來源，占據(jù)大約 36.1%的份額；蝕刻設(shè)備占據(jù)大約29.4%；立式爐/臥式爐/RTP設(shè)備占據(jù)大約16%；清洗設(shè)備占據(jù)大約10.4%；離子注入設(shè)備占據(jù)大約8.03%。
近年來，日本Horiba、美國Brooks等業(yè)內(nèi)龍頭企業(yè)相繼推出壓電陶瓷式比例閥以及基于壓電比例閥的半導(dǎo)體級(jí)MFC產(chǎn)品，在提高響應(yīng)速度的同時(shí)大幅度降低長期使用中性能退化、發(fā)熱、漏氣等問題。相關(guān)研究顯示，亞太區(qū)為最大的半導(dǎo)體流量計(jì)市場，國內(nèi)一些公司在生產(chǎn)方面取得了不錯(cuò)的發(fā)展，以滿足半導(dǎo)體行業(yè)高精度、高可靠性、快速響應(yīng)的需求。
壓電比例閥是MFC中的核心控制部件，與流量傳感器形成閉環(huán)，實(shí)現(xiàn)氣體流量的動(dòng)態(tài)、快速調(diào)整。相較于目前國內(nèi)主流的電磁比例閥，壓電比例閥響應(yīng)快、控制精度高，且具有極低的功耗和熱噪聲。
（質(zhì)量流量控制器結(jié)構(gòu)圖）
2、為什么選擇隱冠半導(dǎo)體
隱冠半導(dǎo)體壓電部門專注于精密定位執(zhí)行器及運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)的研發(fā)、生產(chǎn)制造、銷售；是國內(nèi)壓電領(lǐng)域極少數(shù)擁有從壓電陶瓷材料到壓電陶瓷電機(jī)再到納米精度壓電運(yùn)動(dòng)臺(tái)全產(chǎn)品鏈研發(fā)與批量生產(chǎn)能力的高科技企業(yè)，公司具有豐富的產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗(yàn)。
隱冠可提供MFC核心部件壓電比例閥中壓電執(zhí)行器-疊堆型壓電陶瓷，其具有亞毫秒的響應(yīng)時(shí)間和亞納米分辨率，以保證更快響應(yīng)和更高精度的控制。隱冠自研自產(chǎn)的疊堆型壓電陶瓷可以在較低電壓下產(chǎn)生較大的驅(qū)動(dòng)位移。同時(shí)全金屬密封的壓電致動(dòng)器已批量供貨，性能和一致性表現(xiàn)優(yōu)異。
公司壓電陶瓷已實(shí)現(xiàn)批量化生產(chǎn)，具有豐富的產(chǎn)品規(guī)格和種類以匹配不同的比例閥結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。
針對客戶的個(gè)性化集成需求，公司可以定制封裝尺寸、電壓、行程、金屬端件等，以滿足機(jī)械剛度和穩(wěn)定性，以保證比例閥的可靠性和長期運(yùn)行效果。
同時(shí)公司針對客戶特定需求和具體應(yīng)用場景，集成應(yīng)變片實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制。
公司在國內(nèi)擁有上海、蘇州、廣州、成都四個(gè)服務(wù)中心，可快速響應(yīng)全國客戶的技術(shù)升級(jí)&更新更換、項(xiàng)目開發(fā)、維修維護(hù)等需求。
(最新行業(yè)技術(shù)數(shù)據(jù)來自于網(wǎng)站等其他公開信息來源)
