電子束量檢測(cè)（E-beam Metrology & Inspection）
電子束晶圓檢測(cè)，是掃描電子顯微鏡（SEM）技術(shù)的應(yīng)用。其使用高能電子與晶圓表面的物質(zhì)發(fā)生相互作用時(shí)所激發(fā)出的信息進(jìn)行成像。然后再通過(guò)圖像處理和運(yùn)算來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓缺陷、關(guān)鍵尺寸等進(jìn)行檢測(cè)的目的。
真空
電子束
精密運(yùn)動(dòng)
量檢測(cè)
