晶圓生產(chǎn)控制應(yīng)用，例如薄膜計(jì)量、關(guān)鍵尺寸檢查
磁浮重力補(bǔ)償垂向位移臺(tái)采用緊湊扁平的輪廓尺寸設(shè)計(jì)思想。垂向采用了大行程磁浮重力補(bǔ)償技術(shù)，降低垂向電機(jī)的載荷，很大程度地提高垂向運(yùn)動(dòng)性能和壽命?？蓪?shí)現(xiàn)高精度上下方向定位的升降，垂向可提供高剛度機(jī)械導(dǎo)軌和高性能氣浮導(dǎo)軌選項(xiàng)，氣浮導(dǎo)軌可提供更高精度的雙向重復(fù)性能。
*接口尺寸數(shù)據(jù)來源于MZM200,且垂向處于中間位
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MZM200-10 |
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行程 |
10 mm |
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最大速度 |
100 mm/s |
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加速度 |
2 m/s² |
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精度 |
±0.5 μm /1 mm |
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雙向重復(fù)精度 |
±0.3 μm /1 mm |
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位置穩(wěn)定性（3σ） |
±50 nm |
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直線度 |
2 μm |
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俯仰 |
100 μrad (21 arcsec) |
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橫滾 |
100 μrad (21 arcsec) |
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偏擺 |
100 μrad (21 arcsec) |
| 機(jī)械性能 | |
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驅(qū)動(dòng)負(fù)載（無負(fù)載） |
1.8 Kg |
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最大負(fù)載 |
6.2 Kg |
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平臺(tái)質(zhì)量 |
3.5 Kg |
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外觀尺寸 |
S200 mm×72 mm |
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平臺(tái)材料 |
航空鋁，黑色陽極氧化 |
在MZM200系列產(chǎn)品序列里，配置了可根據(jù)用戶實(shí)際應(yīng)用選擇的可選項(xiàng)?？蛇x內(nèi)容包括行程、編碼器、導(dǎo)軌等選項(xiàng)。
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表1 行程選項(xiàng) |
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-5 |
5mm行程位移平臺(tái)，配置音圈電機(jī)和限位 |
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-10 |
10mm行程位移平臺(tái)，配置音圈電機(jī)和限位 |
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-25 |
25mm行程位移平臺(tái)，配置音圈電機(jī)和限位 |
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表2 編碼器選項(xiàng) |
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-S1 |
增量式模擬光學(xué)式編碼器，1Vpp |
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-S2 |
增量式數(shù)字光學(xué)式編碼器，RS422 |
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-S3 |
絕對(duì)式光學(xué)式編碼器，BISS |
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表3 導(dǎo)軌選項(xiàng) |
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-G1 |
高剛度機(jī)械導(dǎo)軌 |
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-G2 |
高性能氣浮導(dǎo)軌 |
