• 單T軸
  • 氣浮軸承
  • 雙向重復精度:±1arcsec
  • 最大轉(zhuǎn)速:600rpm@48V
  • 直徑:100mm
  • 中空設計,中空尺寸25mm
  • 最大負載_軸向:53Kg

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    1. 上海隱冠半導體技術股份有限公司

      EN
      產(chǎn)品中心詳情頁2
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      PART100精密氣浮轉(zhuǎn)臺
      主要特點

      • 大負載、高精度的氣浮軸承
      • 重復性高、可實現(xiàn)高定位精度
      • 高水平的加工技術
      • 靈活定制

      規(guī)格書下載 使用手冊獲取
      主要應用
      • 半導體設備
      • 激光領域
      性能簡介

      PART100精密氣浮轉(zhuǎn)臺高精度的回轉(zhuǎn)精度,提供超平穩(wěn)的運動,角秒級別的精度和絕對重復性;高超的制造水平,保證了氣浮軸承的質(zhì)量和穩(wěn)定性;輕質(zhì)化設計,產(chǎn)品重量輕,更便于集成。

      機械尺寸圖

       *接口尺寸數(shù)據(jù)來源于PART100

      技術參數(shù)
      <<<左滑查看更多參數(shù)

       

      單位

      PART100

      臺面直徑

      mm

      100

      高度

      mm

      95

      中空尺寸

      mm

      25

      最大轉(zhuǎn)速

      rpm

      600rpm@48V

      峰值扭矩

      N·m

      3.9

      連續(xù)扭矩

      N·m

      3.2

      精度

      arcsec

      ±1.5

      雙向重復精度

      arcsec

      ±1

      最大負載_軸向

      Kg

      53

      最大負載_徑向

      Kg

      17

      軸向誤差運動(同步)

      nm

      <100

      徑向誤差運動(同步)

      nm

      <200

      傾斜誤差(同步)

       

      <2.5µrad(0.5arcsec)

      工作氣壓

      Mpa

      0.5

      耗氣量

      L/min

      <25

      總質(zhì)量

      Kg

      4

      *精度檢測轉(zhuǎn)速為60rpm檢測標準為GBT+17421.7-2016(ISO230-7-2006)以及GB/T17421.22000,環(huán)境溫度為22±0.5℃

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