靜電吸盤控制器是雙極電源，是面向半導(dǎo)體晶圓，面板，光伏等精密制程打造的核心電源控制設(shè)備。
該產(chǎn)品支持高精度電壓調(diào)節(jié)，實時監(jiān)測電壓、電流以及電容等關(guān)鍵參數(shù)。毫秒級吸附響應(yīng)速度，確保晶圓在制造、刻蝕、鍍膜以及檢測等制程設(shè)備中的快速定位和釋放。
控制器預(yù)留有接口可以實現(xiàn)與上位機通訊，通過上位機下發(fā)指令對控制器的功能進(jìn)行控制，同時可以監(jiān)測控制器的運行狀態(tài)。
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ESCC 510 |
ESCC 620 | ||
| 輸入電壓 | 100~264 V AC/47~63Hz | 24 V DC | |
| 輸入電流 | 0.2 A | 2 A | |
| 輸出吸附電壓 | A: 0~±500 V | A: 0~±2000 V | |
| B: 0~±500 V（Phase B =[-1] x Phase A) | B: 0~±2000 V（Phase B =[-1] x Phase A) | ||
| 輸出吸附電壓精度 | ＜2%F.S. | ＜0.5%F.S. | |
| 輸出穿刺電壓 | 1000~4000 V | N.A. | |
| 輸出穿刺電壓精度 | ＜5%FS | N.A. | |
| 工作電流 | 0 ~±15 mA DC | 0 ~±7.5 mA DC | |
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峰值電流 |
20 mA | 10 mA | |
| 通信接口 | RS-485 | RS-485 | |
| 通信協(xié)議 | Modbus (RTU) | Modbus (RTU/ASCII)/可定制 | |
| 遠(yuǎn)程控制接口 | N.A. | DB15 | |
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環(huán)境 |
運行/Operating：0 ℃~45 ℃；25~60% HR | ||
| 存儲/Storage：-35 ℃~85 ℃；25~60% HR | |||
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外觀尺寸 |
482.6 mm×88.1 mm×361.8 mm（W×H×D) | ||
